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產(chǎn)品詳情 PRODUCT

SAL-3000系列桌面型ALD原子層沉積系統(tǒng)
分類 AGUS ALD-原子層沉積系統(tǒng)
型號 SAL-3000
品牌 AGUS
產(chǎn)地 日本，進(jìn)口

產(chǎn)品簡介

AGUS-logog-GIF.gif

 

SAL-3000 ALD原子層沉積系統(tǒng)

 

SAL3000是一款適用于研究型的ALD原子層沉積設(shè)備，該設(shè)備最多可搭載6路前驅(qū)體，適用于4英寸（φ100mm）以下基底材料的鍍膜。該設(shè)備在保持了優(yōu)異的膜厚分布外，還可進(jìn)一步通過改變鍍膜方向，來進(jìn)一步提高鍍膜的質(zhì)量。并且該設(shè)備還可搭載互鎖腔體（Load lock Chamber）和手套箱來沉積需要?dú)夥毡Ｗo(hù)的樣品。

 sal3000-b-1.pngSAL3000+load chamber.jpg

                           SAL-3000                                         SAL3000+Load Lock Chamber

SAL-3000型號參數(shù).gif

性能及特點(diǎn)：

1.鍍膜質(zhì)量高

 SAL-3000原理操作界面.gif

    ·膜厚均勻性≤3% @ 100mm

    ·對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性；

    ·膜厚可準(zhǔn)確控制達(dá)一個原子層；

    ·大面積制程可達(dá)到無孔洞薄膜（Pin Hole free）

    ·極高的重復(fù)性及穩(wěn)定性

    ·材料缺陷密度低

    ·可成長非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度）
2.兩種成膜方向可選

    ·可選擇將薄膜沉積在基底上表面（SAL-3000D）和基底下表面（SAL-3000U），薄膜沉積在基底下表面可降低顆粒附著基底的風(fēng)險。

3. 可搭載互鎖腔體（Load lock chamber）和手套箱

4.圖形用戶界面，觸控操作，簡單易用，可存儲30多種鍍膜方案；

5.主機(jī)與控制機(jī)箱一體化設(shè)計；

6. 可搭配多種配件：
干式真空泵，臭氧發(fā)生器，尾氣處理裝置，800℃基底加熱器，200℃前驅(qū)體加熱器等，退火設(shè)備等；

 

配件.gif

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